非晶合金锭模如何控制真空度?

非晶合金对制备环境的真空度要求高，非晶合金锭模需通过技术方法细致控制真空度。首先

，要对整个真空系统进行严格的密封性检查，包括锭模与真空管道的连接部位、阀门接口、真空泵密

封件等，可采用氦质谱检漏法等专注手段，检测是否存在泄漏点，一旦发现泄漏，及时更换密封件、

紧固连接件或用心服务破损部位，确认系统无泄漏，这是控制真空度的基础。其次，根据锭模的容积和所

需真空度等级，选用合适类型的真空泵，如扩散泵与机械泵组合使用，机械泵负责粗抽真空，速度适宜将

系统内压力降至较低水平，扩散泵则用于精抽，进一步提高真空度，保护真空泵的抽气速率能满足系

统需求，避免因抽气能力不足导致真空度无法达标。在抽真空过程中，采用分阶段抽气的方式，先开

启机械泵进行粗抽，待系统压力降至确定范围（如 10Pa 以下）后，再启动扩散泵进行精抽，逐步将真

空度提升至非晶合金制备所需的水平（通常要求 10?{Pa 以下），避免一次性速度适宜抽真空导致系统内杂

质颗粒剧烈运动，影响真空环境。同时，在整个制备过程中，需通过真空计实时监测系统内的真空度

，根据监测数据，调节真空阀门的开度，控制抽气速率，确认真空度稳定在设定范围内，防止因真空

度波动导致非晶合金中析出晶体相，保护非晶合金的质量。